Institut de Chimie Moléculaire et des Matériaux d'Orsay

Laboratoire d'Etude des Matériaux Hors Equilibre - LEMHE

- Triple chambre ultravide (Pbase ~5×10-11 mbar) composée :

  • d’un sas d’introduction
  • d’une chambre de préparation (introduction de gaz jusqu’à 100 mbar, chauffage de l’échantillon jusqu’à 800°C)
  • d’une chambre d’analyse(porte-échantillon à 5 degrés de liberté,refroidissement de l’échantillon jusqu’à -150°C, chauffage de l’échantillon jusqu’à 800°C)

- Techniques d’analyse disponibles :

  • XPS : source X à double anode (Al et Mg) et analyseur hémisphérique CLAM 2 (ThermoVG).
  • LEED : 3 grilles (Thermo VG)
  • QMS : 1-200 u, VGQ (Thermo VG)